[메가경제=양대선 기자] 진공 밸브 전문 제조기업 프리시스가 오는 11~13일 서울 코엑스에서 개최되는 국내 최대 반도체 장비 전시회인 SEMICON Korea 2026에 참가한다고 4일 밝혔다.
프리시스는 이번 전시회에서 ‘The perfect balance of innovation, agility and expertise’를 슬로건으로 내세우며, 개발 중인 Wedge Gate Valve와 Real-L Motion Valve를 공개할 예정이다. 특히 신규 제품인 Wedge Gate Valve는 반도체 공정 중 고부하 및 부산물 발생이 환경인 진공 펌프 라인에서도 안정적인 라인 차폐(isolation)를 구현하도록 설계된 범용 밸브로 빠른 닫힘 속도를 제공한다. 또한 설비 안전성 강화를 위해 LOTO (Lock Out/Tag Out) 및 Air Lock 기능을 옵션으로 지원한다.
함께 선보이는 Real-L Motion Valve는 Load Lock과 Transfer Chamber 간 웨이퍼 이송 및 Anti-Particle 진공 게이트 동작에 최적화된 게이트 밸브로, Gate Seal의 균일한 압축력과 안정적인 구동 동작을 통해 Etch, CVD, ALD 등 고부식성 및 고부하 공정에서도 안정적인 진공 환경을 유지할 수 있도록 설계됐다. 이러한 기술적 경쟁력을 바탕으로 차세대 주력 Transfer Gate Valve로서, 반도체 제조 공정뿐만 아니라 다양한 클러스터 진공 시스템에 폭넓게 적용될 것으로 기대를 모으고 있다.
1997년 창립된 프리시스는 반도체, 평판 디스플레이, 태양전지 공정에서 핵심적인 역할을 수행하는 고진공 및 초고진공 밸브를 개발ㆍ제조해왔다. 2024년 4월에는 스웨덴 스톡홀름에 본사를 둔 글로벌 산업 장비 기업 아트라스콥코 그룹(Atlas Copco Group)의 진공 사업부에 합병됐으며, 이를 계기로 국내 시장은 물론 해외 시장에서도 입지를 더욱 확대하고 있다.
프리시스는 더욱 안정적인 진공 밸브 품질을 제공하기 위해 지난해 Class 100수준의 클린룸 부스를 구축하여 제조 환경의 청정도를 한층 강화했다. 이를 통해 제품 신뢰성과 품질 경쟁력을 더욱 공고히 하고 있다.
프리시스는 이번 SEMICON KOREA 2026 참가를 통해 프리시스만의 기술 경쟁력을 적극적으로 소개하고, 글로벌 반도체 시장에서의 입지를 더 강화해 나갈 계획이다.
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